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lintec直接汽化法的基本原理及產(chǎn)品特點(diǎn)分析

發(fā)布時間：2023-08-07　點(diǎn)擊量：744

lintec直接汽化法的基本原理及產(chǎn)品特點(diǎn)分析

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使用液體質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行質(zhì)量測量，并通過汽化器內(nèi)置的控制閥將具有流量控制的液體連續(xù)引入汽化室。 在汽化室中，液體瞬間汽化。 質(zhì)量控制是液體，但如果瞬間汽化，汽化后的氣體質(zhì)量是一樣的，所以如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器，液體主的質(zhì)量流量=蒸發(fā)器出口處的氣體質(zhì)量流量。

由于汽化濃度的元素由MFC直接控制，因此具有優(yōu)異的穩(wěn)定性，可實(shí)現(xiàn)高濃度汽化，難以鼓泡。

特點(diǎn)

  • 熱控制點(diǎn)少

  • 由于流量直接控制，因此具有出色的精度和穩(wěn)定性

  • 即使在減壓和常壓條件下也可以提供汽化

  • 能夠汽化和供應(yīng)大流量

汽化器產(chǎn)品一覽

載氣蒸發(fā)器

一種蒸發(fā)器，用于加熱流量控制的液體和載氣，以降低液化氣的分壓比并提供穩(wěn)定的汽化供應(yīng)。

迷你蒸發(fā)器 VU-206

  • 最大 H2O 汽化量：0.5 克/分鐘

  • 最大TEOS汽化：0.7克/分鐘

  • 最高加熱溫度：160°C

高效蒸發(fā)器 VU-430

  • 最大 H2O 汽化量：1.0 克/分鐘

  • 最大TEOS汽化：10克/分鐘

  • 最高加熱溫度：200°C

高效蒸發(fā)器 VU-450

  • 最大 H2O 汽化量：5g/min

  • 最大TEOS汽化：20克/分鐘

  • 最高加熱溫度：200°C

高溫高效汽化器 VU-550

  • 最大 H2O 汽化量：5g/min

  • 最大TEOS汽化：20克/分鐘

  • 最高加熱溫度：300°C

高效蒸發(fā)器 VU-440

  • 最大 H2O 汽化量：5g/min

  • 最大TEOS汽化：30克/分鐘

  • 最高加熱溫度：200°C

高溫高效大流量汽化器 VU-462

  • 最大 H2O 汽化量：15g/min

  • 最大TEOS汽化：50克/分鐘

  • 最高加熱溫度：300°C

輕接觸式蒸發(fā)器 VU-900

  • 最大 H2O 汽化量：7g/min

  • 最高加熱溫度：200°C

石英汽化器 QV-1000

  • 最大 H2O 汽化量：15g/min

  • 最高加熱溫度：200°C

非載體蒸發(fā)器

一種無載體非載體汽化器，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)汽化，壓力波動很小。

低流量非載波蒸發(fā)器 VU-3100

  • 最大TEOS汽化：5克/分鐘

  • 最高加熱溫度：150°C

非載氣蒸發(fā)器 VU-3000

  • 最大 H2O 汽化量：5g/min

  • 最高加熱溫度：200°C

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液體汽化供應(yīng)裝置

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蒸發(fā)器功能和選項(xiàng)

高效汽化


雙流體噴嘴
雙流體噴嘴模擬


文丘里效應(yīng)發(fā)生在具有液體流量控制和載氣噴嘴的雙流體噴嘴上。 通過將液滴噴射到正下方的汽化室中，我們實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定和連續(xù)的液體供應(yīng)到汽化室，即使在微小的流速下也會變成液滴。 通過接觸來自汽化室和汽化室側(cè)面的輻射熱，可以高效地蒸發(fā)小型化霧。

微流速汽化

微訂單微流量控制非常精細(xì)。 因此，對于調(diào)節(jié)流量的控制閥，需要可以精細(xì)設(shè)置的壓電陶瓷促動器，并且需要從控制單元到汽化室的死體積較小的控制閥。

最高工作溫度 300°C

對于CVD和ALD，有許多汽化和供應(yīng)沸點(diǎn)為200°C或更高的有機(jī)金屬化合物以及低蒸氣壓的要求。 林泰開發(fā)了一種兼具可維護(hù)性和耐熱性的蒸發(fā)器，采用Au密封和隔熱結(jié)構(gòu)。

可維護(hù)性

汽化器的壽命在很大程度上取決于材料的物理性質(zhì)和純度。 因此，根據(jù)汽化原料的不同，需要定期維護(hù)。 它在設(shè)計(jì)時考慮了Lintec的蒸發(fā)器可維護(hù)性，以降低維護(hù)成本。

閥門接近結(jié)構(gòu)

本產(chǎn)品在汽化室附近有一個液體流量控制閥。 根據(jù)液體質(zhì)量流量計(jì)的流量信號控制緊鄰汽化器的控制閥。 由于引入汽化室的流速受到控制，因此死體積小，汽化響應(yīng)也得到改善。

多液流量控制閥

通過在汽化室附近安裝多個液體流量控制閥，可以同時或交替地將單獨(dú)的液體引入汽化室并蒸發(fā)。

無閥結(jié)構(gòu)

這是一種汽化器，不會在汽化室附近安裝液體流量控制閥。 它可以與您現(xiàn)有的液體流量控制器或不需要C.F.的科里奧利液體質(zhì)量流量控制器一起使用。

高流量汽化

為了最大限度地發(fā)揮輻射熱的效果，我們通過使汽化室長而具有的結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了大流量汽化。

節(jié)省空間



緊湊型蒸發(fā)器，表面間距為 78 mm。 節(jié)省空間的設(shè)計(jì)，即使與質(zhì)量流量計(jì)串聯(lián)使用，表面間距也為 203 mm。